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可在艙內(nèi)鼓入水蒸氣，使得芯片注液（水溶液）時(shí)艙內(nèi)達(dá)到飽和蒸氣壓，也可配合向艙內(nèi)通入惰性氣體如氮?dú)?、氬氣等保護(hù)氣，提高芯片注液成功率，提高實(shí)驗(yàn)效率。芯片環(huán)境制樣倉尺寸支持客戶定制。
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