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掃描電鏡高溫原位系統(tǒng)通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制，在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建熱場自動控制及反饋測量系統(tǒng)，結(jié)合EDS、EBSD等多種不同模式，實現(xiàn)從納米甚至原子層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
掃描電鏡加熱原位系統(tǒng)通過MEMS芯片對樣品施加熱場控制，在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建熱場自動控制及反饋測量系統(tǒng)，結(jié)合EDS、EBSD等多種測試模式，實現(xiàn)從納米甚至原子層面實時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu)、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的原子級結(jié)構(gòu)和成分演化等關(guān)鍵信息。
